Ceļojumu diapazons
20 mm
Izšķirtspēja
0,125 μm
Atkārtojamība
＜1 μm
Taisnīgums
＜2μm
Paralēlisms
＜5μm
Pitching
10″(50 μrad)
Žēbšanās
Maksimālais ātrums
5 mm/sek
Kravnesība
10 kg
Svars
1,5 kg
